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等离子3

等离子水洗式尾气处理设备

等离子水洗式尾气处理设备,使用2000度以上的高温等离子作为热源,可用于处于半导体、平板显示、LED等行业的特殊气体的处理,例如:NF3,SF6,CF4,C4F6,C5F8 及TMA等。

 

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内部构造:

 

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